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AWM42300V 气体质量流量传感器，放大，流量/压力范围：+ 1000 sccm (1.0 SLPM); 接口类型：岐管。

操作，微桥气体质量流量传感器的工作原理是热传递。气体质量流量经引导流过传感元件的表面。输出电压与流过封装进出口的空气或其他气体质量成正比。特殊设计的外壳地引导和控制气流流过微结构传感元件。封装的机械设计能够轻松将其安装在印刷电路板上。微桥气体质量流量传感器内含一块独特的基于先进微结构技术的硅芯片。该芯片采用薄膜和绝热桥结构，内含加热器和温度传感元件。桥结构能够快速灵敏地响应流过芯片的空气或其他气体气流。中心加热元件两侧的双传感元件还能指示气流流过的方向和速率。激光修正的厚膜和薄膜电阻保证了从每个传感器之间始终具有一致的可互换性。

AWM42300V

流量/压力范围:  1000sccm   (1 SLPM)

整个温度范围内的零位:  ±0.025Vdc

可重复性:  ±0.50%读数

响应时间:  典型值 1 ms，值 3 ms

接口类型:  岐管

功耗:  60 mW

储存温度:  -40°C至 90°C [-40°F 至 194°F]

重量:  14g

信号调节:  放大

调整点的输出电压:  在1000 sccm (1 SLPM) 时，5.0 Vdc ±0.15 Vdc

输出温漂:  -5%读数至 6% 读数

零位: 1Vdc ±0.05 Vdc

电源电压:  值 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，值 15.0 Vdc

共模压力:  150psi

工作温度:  -25°C至 85°C [-13°F 至 185°F]

介质兼容性:  仅干燥气体

冲击:  100g 峰值（5 次下降，6 轴）